真空蝶閥是一種用于真空系統中的關鍵閥門，通過圓盤形蝶板旋轉實現啟閉，控制氣體流動。其結構簡單、體積小、重量輕，適用于高真空、低壓力環境，廣泛應用于半導體、光伏、航天、科研等領域。

　　閥體材質多為不銹鋼或鋁合金，確保高密封性與耐腐蝕性；密封圈采用氟橡膠、硅橡膠或金屬密封，適應不同真空度（如10^-6Pa至常壓）。驅動方式包括手動、氣動或電動，滿足自動化需求。

　　優點包括快速啟閉、低流阻、長壽命及易維護，但高壓差環境下可能受限。選型時需考慮真空度、介質溫度及連接方式（法蘭或KF接口）。真空蝶閥是維持系統真空隔離與調節流量的高效解決方案。